【导语】11月2日凌晨,安世半导体中国公司一则公告引发科技圈震动:其荷兰母公司单方面停止向东莞封装测试厂供应晶圆。这一“左手断供右手”的举动,将半导体产业核心环节“晶圆”推至台前。从沙中提纯的单晶硅到承载百亿晶体管的“微缩城市”,晶圆如何从原料蜕变为芯片基石?中国晶圆代工产业又能否借势突破,改写全球半导体竞争格局?

11月2日凌晨,一则来自安世半导体(Nexperia)中国公司的公告函在科技圈引发关注。公告直指其荷兰母公司单方面决定,停止向东莞的封装测试工厂供应“晶圆”。这一“左手断供右手”的奇特操作,瞬间将一个高度专业的名词——“晶圆”推到了聚光灯下。
在半导体这条产业中,“晶圆”究竟扮演着什么角色?它为何能成为整条产业链上的关键环节?我们日常所说的“芯片”和它又是什么关系?
从沙子到“画布”
如果说芯片是现代工业的“粮食”,那么晶圆就是培育粮食的“黑土地”。这片“黑土地”的“土壤”,其实来自于地球上最常见的物质之一——沙子(主要成分:二氧化硅)。
点“沙”成“硅”
沙子里有硅,但是纯度很低,而且是二氧化硅(SiO2)。我们不能随便抓一把沙子就拿来提炼硅。通常,会选用含硅量比较高的石英砂矿石。
第一步,脱氧、提纯。
将石英砂原料放入熔炉中,加热到1400℃以上的高温(硅的熔点为1410℃),与碳源发生化学反应,就可以生成高纯度(98%以上)的冶金级工业硅(MG-Si)。
随后,通过氯化反应和蒸馏工艺,进一步提纯,得到纯度更高的硅。
硅这个材料,不仅可以用于半导体芯片制造,也可以用于光伏行业(太阳能发电)。
在半导体芯(xīn)片(piàn)行(xíng)业(yè),对(duì)硅(guī)的(de)纯(chún)度(dù)要(yào)求(qiú)更(gèng)加(jiā)变(biàn)态(tài),是(shì)99.9999999%到(dào)99.999999999%,也(yě)就(jiù)是(shì)9~11个(gè)9。这(zhè)种(zhǒng)用(yòng)于(yú)半(bàn)导(dǎo)体(tǐ)制(zhì)造(zào)的(de)硅(guī),学(xué)名电(diàn)子(zi)级(jí)硅(guī)(EG-Si),平(píng)均(jūn)每(měi)一(yī)百(bǎi)万(wàn)个(gè)硅(guī)原(yuán)子(zi)中最多只允许有一个杂质原子。
种出“完美的圆柱”
这种经过提纯之后的硅,是多晶硅。接下来,还需要把它变成单晶硅。
简单来说,单晶硅具有完美的晶体结构,有非常好的性能。多晶硅,晶粒大、不规则、缺陷多,各种性能都相对差。所以,芯片这种高端货,基本都使用单晶硅。光伏那边,可以用多晶硅。
工人们将多晶硅在高温下熔化成液体,然后将一颗微小的“籽晶”浸入熔体中,并以极其缓慢的速度旋转、提拉。
随着籽晶的“生长”,硅原子会像搭积木一样,严格按照籽晶的晶体结构排列,最终形成一根巨大、光滑、完美的圆柱形“单晶硅锭”。这个过程必须在绝对真空和高温下进行,任何微小的震动或杂质都(dōu)会导致前功尽弃。
从“圆柱”到“圆片”
晶圆为什么是圆的?答案就在这根圆柱形的硅锭上。接下来,这根硅锭会被精密切割机(类似精密的“面包切片机”)切割成一片片厚度不到1毫米的薄片。
目前主流的切片方式,是采用带有金刚线的多线切割机,也就是用线上固定有金刚石颗粒的钢丝线,对硅段进行多段切割。这种方法的效率高、损耗少。
切片有时候也会采用内圆锯。内圆锯则是内圆镀有金刚石的薄片,通过旋转内圆薄片切割晶锭。内圆锯的切割精度和速度相对较高,适用于高质量晶圆的切割。
但刚切下的薄片还很粗糙。它们必须经过研磨、化学腐蚀和“化学机械抛光”等多道工序。这个抛光过程堪称“吹毛求疵”,最终的晶圆表面必须光滑到“如镜面一般”。
至此,一块空白的“晶圆”——芯片的“画布”——才算正式诞生。它还不是芯片,但它已是承载一切运算奇迹的基石。
从“画布”到“城市”
如果说上一阶段我们得到的是一块块“画布”(空白(bái)晶圆),那么接下来的过程,就是在这些画布上绘制出人类迄今为止最复杂的“画作”——集成电路。
这个“绘制”工厂,就是我们常说的“晶圆厂”,比如台积电、中芯国际等。而它们使用的“画笔”,就是光刻机(jī)。
“画(huà)作(zuò)”的(de)设(shè)计(jì)与(yǔ)绘(huì)制(zhì)
首(shǒu)先(xiān),芯(xīn)片(piàn)设(shè)计(jì)公(gōng)司(sī)(如(rú)英(yīng)特(tè)尔(ěr)、AMD、英(yīng)伟(wěi)达(dá))会设计出复(fù)杂(zá)的(de)电(diàn)路图(tú)(版(bǎn)图(tú))。这(zhè)张(zhāng)图(tú)纸(zhǐ)被(bèi)制(zhì)作(zuò)成(chéng)“光(guāng)掩(yǎn)模(mó)”,它(tā)就(jiù)像(xiàng)是(shì)老(lǎo)式(shì)胶(jiāo)卷(juǎn)的(de)底(dǐ)片(piàn)。
涂(tu)胶(jiāo)、曝(pù)光、蚀刻的循环
空(kōng)白(bái)晶(jīng)圆(yuán)被(bèi)送(sòng)入(rù)晶(jīng)圆(yuán)厂(chǎng)后(hòu),会(huì)经(jīng)历(lì)一(yī)个(gè)极(jí)其(qí)繁(fán)复(fù)的(de)“PVD、CVD、光(guāng)刻(kè)、蚀(shí)刻(kè)、注(zhù)入(rù)”循(xún)环(huán),这(zhè)个(gè)过(guò)程(chéng)可(kě)能(néng)要(yào)重(zhòng)复(fù)上(shàng)百(bǎi)次(cì),耗(hào)时(shí)数(shù)月(yuè):
涂(tu)胶(jiāo): 在(zài)晶(jīng)圆(yuán)表(biǎo)面(miàn)均(jūn)匀涂上一层对光敏感的“光刻胶”。
曝光: 光刻机(如ASML的EUV光刻机)发出的光束(如极紫外光)穿过“光掩模”,将电路图案“投影”到光刻胶上。被照到的部分会发生化学变化。
显影: 洗去被曝光(或未被曝光)的光刻胶,电路图案就留在了晶圆表面。
蚀刻/ 沉积: 使用化学气体或等离子体,在没有光刻胶保护的区域进行“雕刻”(蚀刻掉多余的硅)或“沉积”(生长出新的材料层,如铜导线或绝缘体)。
离子注入: 在特定区域“掺杂”入其他元素,以改变其导电性能,从而制造出晶体管(开关)。
从晶圆到芯片的最后一步
这个循环往复,就像用3D打印技术一层一层地盖楼。几个月后,原本光滑的晶圆表面已经布满了数以百亿计的微型晶体管和连接线,形成了一座座密集的“微缩城市”。
此时,这片“晶圆”上已经布满了成百(bǎi)上(shàng)千(qiān)个(gè)完(wán)全相(xiāng)同(tóng)的(de)“芯(xīn)片(piàn)”。它(tā)已(yǐ)经(jīng)不(bù)再(zài)是(shì)“空(kōng)白(bái)画(huà)布(bù)”,而是“满载画作的成品”。
此次事件中的安世半导体东莞工厂的角色,正是“封装测试”。它们拿到的,就是这种“满载画(huà)作”的成品晶圆。它们的工作是:
测试: 用探针测试晶圆上每一个裸片,看是否合格。
切割: 将这块大圆片切割成一个个独立的小方块(芯片)。
封装: 将合格的芯片“装”进我们常见的黑色小方盒(芯片外壳)里,并焊上引脚,以便它能安装在电路板上。
从“追赶”到“并跑”
从全球视角看,中国大陆晶圆代工产业正在经历从“追赶”到“并跑”的关键转型期。虽然在最先进的2纳米、3纳米制程上仍有差距,但在成熟制程、特色工艺、化合物半导体等领域,中国企业正在缩小差距甚至实现局部领先。
《2025全球及中国半导体制造市场预测和产业分析》报告显示,未来三年,随着71座300mm晶圆厂的陆续投产,中国大陆将占据全球近三成的产能份额。
如今,中国晶圆代工产业需要在技术攻关、人才培养、产业链协同等方面持续发力。未来将在成熟制程、特色工艺领域巩固优势,逐步夯实供应链安全,这样不仅将大幅提升中国半导体产业的自给率,也将深刻改变全球半导体产业的竞争格局。
参考资料:
1.上海证券报丨安世中国凌晨声明:恶意抹黑,倒欠10亿!
2.“中科院物理所”公众号丨晶圆是如何制造出来的?
3.“中国科学院半导体研究所”公众号丨芯片制造工艺流程.图文详解.一文通
撰文:记者 段大卫
编辑:段大卫
图片来源于网络

